掩模对准系统:
ABM Manual Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/DCCD/M
ABM Manual Mask Aligner System with Split-Field Microscope Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/SFM/M
ABM Manual Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Frontside and Split-field BSV/BSIR Backside Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M
ABM Manual Mask Aligner System with Split-field Microscope Frontside and BSV/BSIR Backside Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/SFM/BSV/M
ABM Large Area Manual Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM/8/500/NUV/DCCD/M
ABM Semi-auto Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/DCCD/SA
ABM Fully-auto Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM/6/500/NUV/DCCD/FA
曝光系统:
产 品
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产 品 应 用
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主 要 特 点
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光 强 测 试 仪 器 以 及 探 测 头
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真 空 卡 盘
真 空 式 掩 模 板 板 架
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附 件 、 备 品 、 消 耗 品
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扫 描 电 镜 图 实 例
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曝 光 工 艺 完 整 解 决 方 案
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